prepFAST S
Automação na Análise por ICP-MS de Produtos Químicos Ultra Puros na Fabricação de Semicondutores

Automatizado  |  Simples de usar  |  Desempenho  |  prepFAST Comparação

Simplifique seu teste sem sacrificar Limites de Deteção.

  • O que esta em contato com as soluções é de Fluoropolimeros
  • Alcança e exceded as especificações de BEC e LOD
  • Colunas para limpeza de reagenetes garantind baixíssimos níveis de background

BEC and LOD using prepFAST
Element BEC (ppt) LOD (ppt) Element BEC (ppt) LOD (ppt)
7Li .02 .02 56Fe 0.8 0.5
23Na 0.3 0.2 59Co 0.08 0.06
24Mg 0.1 0.1 60Ni 0.5 0.4
27Al 0.3 0.2 63Cu 0.4 0.08
39K 1 0.6 64Zn 0.5 0.4
40Ca 0.3 0.2 107Ag 0.3 0.4
52Cr 0.2 0.4 208Pb 0.02 0.03

Análise direta de Produtos para a industra de Semicondutores como:

  • 98% H2SO4
  • 89% H3PO4
  • 70% HNO3
  • 49% HF
  • 31% Hidróxido de Amônio
  • TMAH - Tetramethylammonium hydroxide (25%/2.38%)
  • IPA – Isopropyl Alcohol
  • PGMEA – Propylene Glycol Monomethyl Ether Acetate
  • DIW – De- ionized water
  • Outros

Direct Analysis of 49% HF with 5x Inline Dilution
Element prepFAST S
Found (ppt)
Certified
(ppt)
Element prepFAST S
Found (ppt)
Certified
(ppt)
7Li .05 <.01 56Fe 2.6 <5.0
23Na 0.48 <5.0 59Co 0.9 <0.5
24Mg 0.47 <0.5 60Ni 0.6 <5.0
27Al 3.2 <5.0 63Cu 0.5 <5.0
39K 1.2 <5.0 64Zn 0.4 <1.0
40Ca 1.9 <5.0 107Ag 0.01 <0.5
52Cr 0.6 <5.0 208Pb 0.02 <0.1

Download Brochure

Download Comparação

Ca Autocalibração em água deionizada

Ca Autocalibração em água deionizada

Na Autocalibração em linha diluido 5 X com HF

Na Autocalibração em linha diluido 5 X com HF


^ Retornar ao topo